エレクトロファインフォーミング
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OEFメタル
| フォトレジスト周囲より金属を成長させて孔を形成させる製法です。 |  |
特長
- 孔径φ10μmでも板厚t＝100μmが可能。
- 成長面がなだらかなスリ鉢状です。
- 同一パターンでも、板厚の調整により孔径の調整が可能。
仕様
| 板厚 | 孔径によりある程度変化します。 ex.t＝90μm 孔径φ50μm t＝110μm 孔径φ10μm etc. |
|---|---|
| 最小孔径 | φ30μm以下製作可能 |
| 寸法精度 | ±5μm（φ50μm程度の孔で） |
| 硬度 | Hv450〜Hv550 |
※ 上記仕様は、設計パターン及び、使用フォトマスクにより変わります。
詳細はお問い合わせください。