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金属基複合材料



SiC(炭化ケイ素)/金属 放熱基板

■材 料
SiC(炭化ケイ素)に、金属(アルミニウム、マグネシウム)を含浸。
■特 徴
  1. 炭化ケイ素材(SiC)を、金属により補強、向上させました。
  2. 材料から基板及び機械加工までの一貫製造が可能です。
  3. 基板表面に直接メッキが可能です。
  4. 特性
    1. 熱伝導率が高い
    2. 熱膨張率が低い。
      (半導体素子及びパッケージ材料との熱膨張率の適合性に優れる。)
    3. 軽量。
    4. 高剛性、高耐摩耗性。
    5. 多少機械加工性に難。
■用 途
・マイクロ波デバイス用基板:携帯電話中継基地局、通信衛星
・パワーデバイス用基板 : 電気自動車、ハイブリットカー、電車、大型モーター
・半導体用基板:パソコン、サーバー、レーザー発振器、高発熱の半導体基板。
・MPU、IGBT(絶縁ゲート型バイポーラトランジスター)の基板。
SiC(炭化ケイ素)/アルミニウム複合材の物性表
基材構造 焼結体 焼成体
比重
g/cc
3 3
熱伝導率
W/m・K
220〜300
200〜260
熱膨張率
ppm/K
4.5 6.2〜15
(任意調整可)
引張り強度
MPa
600 225
曲げ強度
MPa
500 380
破壊靭性
MN/m3/2
6〜7
弾性率
GPa
280 265
硬  度 HRC47 HRC25
電気抵抗率
μΩ・cm
60 40

注 上記数値は平均的な値であり、保証値ではありません

SiC/Al放熱基板 製品例

半導体放熱基板
(50%SiC/Al)

鏡面加工品
(70%SiC/Al)

ロボットハンド

溶湯鋳造法で高温使用可能です。

液晶製造装置内ガラス搬送ハンド 液晶製造装置内ガラス搬送ハンド
液晶製造装置内ガラス搬送ハンド
素材(アルミナ+アルミニウム)
幅530mm
液晶製造装置内ガラス搬送ハンド
素材(アルミナ+アルミニウム)
幅660mm
炭素繊維・アルミニウム複合材料
(FMC=Fiber Metal Composite)
Fiber Metal Compositeと他材料の物性比較
耐熱性 500℃
弾性率 500GPa
曲げ強度 900MPa
密度 2.2g/cm3
熱膨張率 0ppm/℃
熱伝導率 500W/mK
脱ガス特性 計測限界以下
表面処理技術 Niメッキ、テフロンコーティングなど