金属基複合材料
SiC(炭化ケイ素)/金属 放熱基板
- ■材 料
- SiC(炭化ケイ素)に、金属(アルミニウム、マグネシウム)を含浸。
- ■特 徴
- 炭化ケイ素材(SiC)を、金属により補強、向上させました。
- 材料から基板及び機械加工までの一貫製造が可能です。
- 基板表面に直接メッキが可能です。
- 特性
- 熱伝導率が高い
- 熱膨張率が低い。
(半導体素子及びパッケージ材料との熱膨張率の適合性に優れる。) - 軽量。
- 高剛性、高耐摩耗性。
- 多少機械加工性に難。
- ■用 途
- ・マイクロ波デバイス用基板:携帯電話中継基地局、通信衛星
- ・パワーデバイス用基板 : 電気自動車、ハイブリットカー、電車、大型モーター
- ・半導体用基板:パソコン、サーバー、レーザー発振器、高発熱の半導体基板。
- ・MPU、IGBT(絶縁ゲート型バイポーラトランジスター)の基板。
| 基材構造 | 焼結体 | 焼成体 |
|---|---|---|
| 比重 g/cc |
3 | 3 |
| 熱伝導率 W/m・K |
220〜300 | 200〜260 |
| 熱膨張率 ppm/K |
4.5 | 6.2〜15 (任意調整可) |
| 引張り強度 MPa |
600 | 225 |
| 曲げ強度 MPa |
500 | 380 |
| 破壊靭性 MN/m3/2 |
6〜7 | − |
| 弾性率 GPa |
280 | 265 |
| 硬 度 | HRC47 | HRC25 |
| 電気抵抗率 μΩ・cm |
60 | 40 |
注 上記数値は平均的な値であり、保証値ではありません
半導体放熱基板 |
鏡面加工品 |
ロボットハンド
溶湯鋳造法で高温使用可能です。
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| 液晶製造装置内ガラス搬送ハンド 素材(アルミナ+アルミニウム) 幅530mm |
液晶製造装置内ガラス搬送ハンド 素材(アルミナ+アルミニウム) 幅660mm |
| 炭素繊維・アルミニウム複合材料 (FMC=Fiber Metal Composite) |
Fiber Metal Compositeと他材料の物性比較 | ||||||||||||||||
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