マスフローコントローラ（SAM）
特長
1. シンプルなバルブ構造
2. 低圧損センサー
3. 長寿命
|
 |
製品一覧
| 高性能デジタル マスフロコントローラ |
SFC480Fシリーズ |
|---|---|
| 高機能マスフローコントローラ | SFC480シリーズ（標準型） SFC470シリーズ（微差圧用：10Torr以下の製作も可能） SFC580シリーズ（高温用：使用温度80℃） SFC680シリーズ（超高温用：使用温度150℃） SFC570シリーズ（高温・微差圧用） SFC670シリーズ（超高温・微差圧用） SFC460シリーズ（微小流量用：最小流量 F.S. 1SCCM） |
| コンパクト高性能 マスフローコントローラ |
SFC1480シリーズ（コンパクト106mm面間） |
| 汎用マスフローコントローラ | SFC280Eシリーズ |