金属系スパッタリングターゲット材
フラットパネル用スパッタリングターゲット材
特長
高純度 材質Cr ・ Al合金 ・ Ta ・Mo ・ Mo合金 |
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| 材質用途一覧 |
半導体用ターゲット材
特長
高純度 材質W-Si ・ Mo-Si ・Ti ・ W |
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| 材質用途一覧 |
磁気記録用ターゲット材
特長
高純度 材質CoCr合金（、Ta等）・Cr合金（Ti、Mo、W等） Ni合金（Al、P等） |
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| 材質用途一覧 |
組成・用途一覧
| 製品分野 | 用途 | 材質 |
|---|---|---|
| フラットパネルディスプレイ | 液晶ＴＦＴ電極用 ＰＤＰ電極用 反射電極用 カラーフィルター用 |
Cr, Mo, Mo合金 Al , Cu-Cr,Cu Al合金,Ag合金 Cr , Ni合金 |
| 半導体 | ＬＳＩ電極用 | MoSi WSi W Cu |
| ＬＳＩバリアメタル用 | TiW Ti Ta Ta-X |
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| キャパシタ用 | Ru Ta |
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| フォトマスク用 | Cr MoSi |
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| 磁気記録 | 磁性膜 | CoCrTa |
| 磁気記録下地用 | Cr Cr合金 Ni合金 |
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| 薄膜磁気ヘッド用 軟磁性膜 |
NiFe CoTaZr,CoZrNb,FeCoB |