フラットパネル用スパッタリングターゲット材
均一組織で膜特性の安定化を達成
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用途フラットパネルディスプレイ配線、電極材 材質Cr, Mo, Alおよびその合金 特長
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液晶ディスプレイを用いたノートパソコンと大型ターゲット材
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フラットパネル用スパッタリングターゲット材均一組織で膜特性の安定化を達成
液晶ディスプレイを用いたノートパソコンと大型ターゲット材 |