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半導体用ターゲット材

低パーティクルで歩留まり向上に寄与

ターゲット材外観

用途

半導体メモリ配線用の拡散バリヤ層、電極材

材質

W-Si,Mo-Si,Ti,W,Tiw

特長

  1. 高純度（5N：99.999%）
  2. 高密度（相対密度：99.5%以上）
  3. 均一組織

半導体集積素子

半導体集積素子

ターゲット材の組織

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